佛山潔凈車間防靜電接地
在無塵車間生產過程中,靜電所造成的危害是多方面的。首先,由于靜電吸附作用,塵粒會吸附在器件和整機表面,影響產品質量,造成故障;其次,電暈放電的能量對微電子設備會造成干擾;另外,當靜電嚴重時可能會引起火花放電,并可能成為易燃易爆氣體、液體或粉塵及其混合物的引火源或導致爆炸。
為了消除靜電所產生的危害,必須采取一些措施。消除靜電的方法很多,接地是消除靜電較普遍、經濟、簡便、可靠的辦法。在佛山潔凈車間中,對所有會產生靜電的設備都應保證可靠接地。靜電接地方式主要有硬接地和軟接地。硬接地是指直接與大地電極作為導電性連接,軟接地則是通過一個限流電阻連接到大地電極,以限制流過人體的電流不超過5mA安全值。
佛山潔凈車間的靜電接地一般有以下3種類型：
A.直接接地。將金屬導體直接與大地進行電氣連接,使金屬導體的靜電電位接近或等于大地的電位。
B.間接接地。靜電壓導體通過與表面全部或部分緊密接觸的金屬導體與大地進行電氣連接。
C.跨接接地。兩個或兩個以上相互絕緣的金屬導體進行導電性電氣連接,以建立一個供電流流動的低阻抗通路,然后再進行接地。防靜電接地系統根據不同要求設置接地連接端子。在一個房間內應設置等電位的接地網格或閉合的接地銅排環。銅排截面積不應小于100mm2,防靜電接地引線應從等電位的接地網格或閉合銅排環上就近接地連接。接地引線應使用多股銅線,導線截面不應小于1.5mm2。防靜電接地系統在接入大地前應設置等電位的防靜電接地基準板,從基準板上引出接地主干線,其銅導體截面積不應小于95mm,并采用絕緣屏蔽電纜。接地主干線應與設置在防靜電區域內的接地網格或閉合銅排環連接。在主要生產場合采用防靜電地坪,在地坪敷設完畢后,將防靜電地坪內的金屬線與防靜電地坪所在空間的建筑柱上預留的接地端子相連。另外,接地端子須通過柱內主筋與接地極連通,以使靜電通過接地端子沿柱內主筋流向接地極。
佛山潔凈車間內不同功能的接地系統的設計均應遵循等電位聯結的原則,其中直流接地系統不能與交流接地系統混接。靜電控制中的接地設計應以建筑物防雷接地為基礎,各類功能接地系統包括靜電屏蔽接地應處于防雷接地的保護空間,也就是必須作等電位聯結。各類功能接地系統應自成系統且相互間不應混接。靜電屏蔽接地系統的低阻抗電氣通路應小于0.1Ψ。直流工作接地低阻抗電氣通路應小于0.02Ψ。
接地裝置的設計按GBJ50057—1994《建筑物防雷設計規范》和GJB/Z25—1991《電子設備和設施的接地摻接和屏蔽設計指南》的有關規定執行。當選擇聯合接地方式時,接地電阻值應小于0.5Ψ。接地電阻值越小越好,因為當有電流流過接地電阻時,其上將產生電壓,該電壓除產生共地阻抗的電磁干擾外,還會使設備受到反擊過電壓的影響,并使人員受到電擊傷害的威脅。