極易造成污染的物料設置專用出入口。真正做到布置合理、緊湊,有利生產操作,并能保證對生產過程進行有效的管理,要防止人流、物流之間的混雜和交叉污染。
人員凈化部分在室內設立包括雨具存放室、換鞋室、存外衣室、盥洗室、更換潔凈工作服室、氣閘室或空氣風淋室等,人員凈化用室和生活用室布置在同一層。
廣州電子廠凈化車間設計需注意事項:
(1)平面由工藝決定,廣州電子廠凈化車間的工藝布局應適應電子產品發展的靈活性,滿足產品生產工藝改造和擴大生產的需求;
(2)主體結構宜采用大空間及大跨度柱網,不宜采用內墻承重體系;
(3)常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構造;
(4)應考慮大型生產工藝設備的安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產環境的安裝口或檢修口;
(5)按二級耐火等級設計;
(6)特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與凈化車間分開,該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區至少三面是敞開的,氣瓶與周圍構筑物或圍欄之間的距離應大于3M,儲存區設置的雨篷應不低于3.5M;
(7)廣州電子廠凈化車間的裝飾材料不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料;
(8)允許設空氣吹淋室,這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按班人數為30人一間設計,當工作人員超過5人時,應設旁門,當人數太多或為了縮短通過時間,也可設遂道式吹淋室;
(9)對于潔凈等級高的潔凈車間,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具;
(10)常要根據生產工藝要求設置防靜電環境,以便抑制靜電的產生,將已產生的靜電迅速、安全的排除;
(11)廣州電子廠凈化車間有對防微振的特殊要求,在廠地環境上應避開振動源;
(12)凈化車間除有一般給排水要求外,對超大規格集成電路的用水也有標準。