一般來說,電子廠房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關溫濕度規定)。這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分,由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
電子制造廠萬級無塵車間內的噪聲級(空態):不應大于65dB(A)
電子制造廠無塵車間垂直流無塵車間滿布比不應小于60%,水平單向流無塵車間不應小于40%,否則就是局部單向流了。
電子制造廠無塵車間與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa
電子制造行業萬級無塵車間內的新鮮空氣量應取下列二項中的大值:
補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
保證供給無塵車間內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
電子制造行業無塵車間凈化空調系統加熱器,應設置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區,新風系統應設置防凍保護措施。無塵室的送風量,應取下面三項大值:
保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量:
根據熱,濕負荷計算確定電子廠無塵車間的送風量:
向電子制造廠無塵車間內供給的新鮮空氣量:
無塵車間間參數:
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。
壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;高標準粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。